日本Patentix攻克二氧化锗6寸晶圆镀膜 2027年投入试制
- 江仁杰/综合报导
源于日本京都立命馆大学(Ritsumeikan University)的新创Patentix,宣布成功开发出兼容6寸晶圆的全新镀膜系统(Deposition System)。利用该系统,Patentix成功...
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