爱德华力推PdM预测型服务助半导体提升营运效率 同步实践ESG永续蓝图

爱德华先进科技服务事业部副总经理朱仲圣出席台湾高科技厂房设施协会主办之「智能厂务新纪元-数码转型与卓越运营管理研讨会」，分享运用AI技术，提升高科技厂房运营成效。爱德华先进科技

在2050净零排放浪潮推动下，全球企业正加速落实ESG目标。身为真空与减排领域的全球领导者，爱德华先进科技（Edwards）承诺遵循SBTi（科学基础减量目标倡议）的近期减碳路径，预计至2030年将范畴一与范畴二的碳排放减少46%，范畴三减少28%。

为协助半导体产业降低对环境的冲击，爱德华先进科技领先业界推出预测型服务模式（Predictive Maintenance；PdM），协助客户降低营运成本，同时兼顾环境永续、迈向净零未来。

爱德华先进科技服务事业部副总朱仲圣指出，随着半导体制程迈入纳米时代，制程步骤、复杂度与环境要求同步提高，加上全球对永续议题的高度关注，半导体产业营运挑战已从提升制程与良率，延伸至对ESG的实践。

爱德华运用深厚的产业知识，结合AI与机器学习技术推出PdM预测型服务，成为企业在降低总持有成本、强化营运韧性与达成减碳目标上的最佳解方。目前PdM已在台湾及全球主要客户端完成多项成功案例，并更进一步与高科技产业客户进行 更大范畴的PoC验证。

PdM服务四大效益  提升产线稼动率、落实ESG目标

在半导体制程愈趋复杂、产线高度自动化下，设备可用率已成为决定产能与良率的关键指标。然传统以固定周期进行的保养方式，早已无法应付先进制程多变且密集的设备运作需求。若保养时间过早，容易造成不必要的停机、耗材浪费与人力负担；若保养时间过晚，则可能导致设备故障、制程中断甚至造成产品报废，而这些损失金额往往远高于维修费用。

爱德华先进科技在全球真空泵浦、废气处理设备等居领先地位，数据量涵盖多国 Fab 设备机况、不同制程、不同气体组成与污染模式等。该公司运用大量数据搭配AI与机器学习模型等推出的PdM预测型服务，会收集与分析半导体厂设备的健康度、负载行为、材料堆积状况与制程条件，能预测设备维护的「最佳时间点」，进而达到降低营运风险、成本支出，并提升产线稼动率、落实ESG目标。

朱仲圣表示，PdM服务可为产业带来四大效益，首先是「提升稼动率与降低停机风险」，我们独家开发的AI模型可侦测磨耗、堆积、腐蚀等故障前万亿，约可降低超过50%的非计划性停机。其次是「减少耗材、能源与不必要的维修」，PdM服务可让维护时机更精准，降低不必要的耗材损失。

第三大效益是「降低备品库存与人力压力」，AI模型预测可提前提供维修与备品需求，不再需要大量准备安全库存。第四大效益是「降低制程与安全风险」，让工程师在「设备仍可运转」的阶段介入，使风险降到最低。

兼顾永续与效能  勾勒智能工厂愿景

爱德华推出PdM服务至今，已经吸引许多国际级半导体客户采用，如知名晶圆大厂导入之后，经验证可顺利避免74%设备过早维护，同时达成减少30%非预期停机。至于知名存储器大厂采用PdM服务后，运用AI 透过分析主要部件中的「副产物堆积分布」等状况作出维修建议，经验证可顺利让45天固定保养周期延长到60天以上，搭配公司提供升级套件之真空设备，更可以达成90天会以上，大大的提高设备机之可用率与风险。

朱仲圣指出，在向更多产业推广PdM服务同时，2026年爱德华先进科技将结合AI技术进一步推出PdM 2.0服务平台，透过更直觉的视觉化界面与主动性，如进行自动化诊断、健康度报告等以减少工程师的日常巡检负担为目标，让客户能以更精确、更高效方式提升营运效率，同时实现企业永续的承诺。

爱德华PdM服务模式不仅用更聪明的方式协助半导体产业提升产线稼动率或节省成本，同时在增进使用率、提升速度与满足ESG永续目标之间，找到最关键的平衡点，为建立新一代的智能工厂标准，做出了良好的实践。