资腾科技于Semicon China 2024 展现ESG创新力 推出优化半导体制程产品

佳世达集团罗昇企业旗下资腾科技（Standard Technology Corporation）参加Semicon China 2024展览，展示多项协助优化半导体制程的创新产品，如超洁净金属气体过滤器、超高精度光阻涂布泵等。

资腾科技总经理陈国荣表示，因应全球ESG、第三代半导体等趋势需求，2024年资腾科技将展示一系列针对半导体制造产业的创新产品，旨在提高制程效率、减少环境负荷，并支持产业的永续发展。以下是其中几项亮点产品：

超洁净金属气体过滤器:次时代纳米工厂必备，金属烧结微米级不锈钢（SUS 316L）短纤维制成薄层金属膜过滤器，皱褶状设计增加过滤面积。Load lock chamber排气过滤而设，缩短排气时间，提高机台5~8%的稼动率。

超高精度光阻涂布泵:适用于半导体黄光制程光阻涂布，以及其他需要精准控制药液喷吐量的应用场景，几乎零药液浪费，可与半导体设备（如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等）匹配使用。提供气缸式和马达式控制，稳定性高且寿命长，资腾提供在地实时服务支持。

非接触型涡漩式吸笔: 资腾自主研发，利用伯努利原理吸取薄片晶圆或是光学元件，避免晶圆或是光学元件表面刮伤，提高晶圆传送效率和稳定性。具有定制化和价格优势，目前已有SiC与光学元件厂客户销售实绩。

资腾充分考量国内市场特性和全球趋势，针对ESG、第三代半导体、新建晶圆厂、设备本土化等领域提出不同的解决方案，通过强大的产业实践经验和技术能力，与合作夥伴们携手，共同促进半导体产业的创新未来。