国内半导体究竟能不能量产5nm?Multiple patterning成重要关键字!
近年中美贸易战的持续升级,带来许多不同面向的讨论,对于国内未来在5nm的量产上,林本坚院长的观察究竟为何?以及从自由经济与全球专业分工的角度,林本坚院长又如何看待中美贸易战?
来宾:国立清华大学半导体研究学院林本坚院长
本集节目要点:
📣Multiple patterning由多重曝光加上多重蚀刻所组成,次数愈多,所耗费的时间与成本愈高。
📣即便不打中美贸易战,美国半导体仍掌握关键优势。
📣面对制程微缩,量产成本居高不下势不可免。
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