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SGS斥资近亿元设立气体分析及研发中心

  • 孙昌华台北

SGS为深根台湾半导体产业与服务光电半导体厂商,斥资近亿元整合了原本既有的气体分析服务能量与新投资更多可分析气体的种类与项目,并邻近新竹科学园区设立「气体分析及研发中心」。SGS
SGS为深根台湾半导体产业与服务光电半导体厂商,斥资近亿元整合了原本既有的气体分析服务能量与新投资更多可分析气体的种类与项目,并邻近新竹科学园区设立「气体分析及研发中心」。SGS

气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色,特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业,气体已成为IC制造、平面显示器(LCD、LED、OLED)、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。

这些产业皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程。半导体生产过程中,将气体划分成常用的大宗气体和特殊气体两类。大宗气体指集中供给而且使用非常多的气体,比如N2、H2、O2、Ar、He等。

特殊气体指在半导体生产的各种生产过程中,比如磊晶(Epitaxy)、扩散(Diffusion)、化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition or CVD)、物理气相沉积(Physical Vapor Deposition or PVD)、溅镀(Sputtering)、离子布植(Ion Implantation)、乾蚀刻(Dry Etching)、磊晶(Epitaxy)及腔体清洗(Chamber Clean)所使用到一些特殊化学气体。

这些气体的品质对生产影响非常的重要,而所要求的气体纯度也很高,比如高纯度的SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2 等。

在IC生产过程中,使用的气体种类超过100多种,在核心制程中所使用的气体也有30种以上,这些通过参与不同的芯片核心制程的气体决定了IC的效能、整合度、成品率。

只要某一种的某一个特定杂质超标,都将导致电性异常与报废,严重时会因不合格气体因随着气体管路扩散,导致整个生产线被污染,乃至生产全面瘫痪。因此,制程气体是半导体制造过程关键基础材料。又有半导体产业的「血液」之称。

SGS为深根台湾半导体产业与服务光电半导体厂商,斥资近亿元整合了原本既有的气体分析服务能量与新投资更多可分析气体的种类与项目,并特别选定于邻近新竹科学园区设立「气体分析及研发中心」,打造出一个全方位气体分析实验室,从制程气体进料时的品质确认、不纯物及污染分析、气体纯化器的效能、制程设备气体泄漏评估与尾气处理设备之效能确认,提供全方位的服务。

SGS致力以最高技术来针对客户所使用的气体,进行微量杂质分析,以协助客户厘清使用之原物料品质与制程问题,并搭配SGS内部跨部门实验中心与专家团队,帮助客户解决化学与污染相关问题。

SGS气体分析及研发中心拥有GC-MS、GC-FID、GC-TCD、GC-PDHIP、IC、ICP-OES、ICP-MS、FTIR、水分分析仪、微氧分析仪… 等多项分析设备,可分析气体中不纯物、未知物、阴阳离子、微量金属、含水率与氧气浓度,提供客户多面向的测试需求,并提供专家技术谘询服务,为客户所使用的每一项物料把关。

由于气体分析在操作上,安全是特别需要注意的事项,SGS根据不同种类的气体特性进行分区分流,分析时采取人机分离作业模式。同时SGS气体分析及研发中心全区采用防火建筑材料建构,并针对不同的仪器设计不同的分析空间,例如:气体层析室、气体样品暂存室、气体钢瓶均匀室、气体前处理室、尾气处理室、进出样管理室与中央控制室,并在不同空间搭配各式安全监控系统,例如:影像监视系统、热影像监视系统、微压差监控系统等。

各种气体浓度监测系统连结紧急通风换气等安全设备,实验场域亦提供高等级安全防护面罩与防护衣,让客户可以放心把要分析的气体在最安全防护的SGS气体分析及研发中心中进行分析。

此外,SGS依据SEMI行业标准,以SEMI S2核心准则,提供了客户制程设备在气体使用中可能的泄漏评估,目前全球半导体制造商会被要求在出厂前准备SEMI安全评估报告并包含「SEMI S2 设备安全卫生环保基准」以及「SEMI S10 风险评估」。确保客户在使用这些危险性及有毒性的气体时,同时可以达成气体供应的安全,保障人员的健康与工厂运作的安全。

而在特殊气体使用后端的尾气处理设备(local scrubber),SGS也可以协助客户提供尾气处理设备效能DRE的验证,以确保处理过后之尾气是在中央处理设备(Central Scrubber)负荷量范围内,最终经由尾气中央处理设备(Central Scrubber) 排放至环境,让客户能达成环境的永续经营及符合排放标准。

近年来,5G、IoT、AD等运用蓬勃发展,半导体产业前景可期,SGS与产业夥伴们站在台湾产业的尖端与时并进,共创奇蹟。