突破A14制程 宜特开启材料分析新局

宜特科技（iST）宣布，成为接受台湾大学技术转移并具备原子探针断层扫描仪（Atom Probe Tomography；APT）试片制备能力的第三方实验室，1月正式启动APT针状试片制备服务。这一突破性技术为半导体材料分析提供全新解决方案，特别针对A14制程（14埃）等超先进制程，克服异质材料整合与立体化元件结构中的分析挑战。

随着半导体元件尺寸缩小至纳米级与埃级，穿透式电子显微镜（TEM）逐渐面临成分分析空间分辨率和浓度侦测极限的局限，而APT的出现则为材料分析带来全新视角。

APT不受光学绕射极限限制，能在次纳米级分辨率下，精确还原样品的3D原子结构，并提供10 ppm等级的成分分析能力，成为解决半导体研发与良率控制问题的利器。

宜特表示，APT技术尤其适用于分析快速热退火后的掺杂元素分布、立体化元件中的化学组成，以及异质材料整合的微观结构问题。其高灵敏度和高空间分辨率，使其成为晶圆代工大厂等全球领先半导体企业前瞻性研究的重要工具。

宜特进一步指出，APT分析需要高度精密的试片制备技术，样品需加工成针尖型，尖端曲率半径小于100 nm，才能保证精准的场蒸发效果。透过与台湾大学技术转移暨合作，宜特科技开发出高效的试片制备技术，可应用于薄膜、FinFET半导体元件、MRAM元件及光电材料等。

这项技术的成功让宜特为具备APT试片制备能力的第三方实验室，标志着材料分析服务的全新里程碑。