提供多样完整之解决方案 TEL持续突破半导体先进制程技术

随着半导体制程技术持续微缩， 进入微影新时代，除了透过制程微缩来强化半导体元件的效能之外，立体堆叠和异质整合的技术也需要各种新结构与新材料的发展。这些发展也为半导体制造设备制造商开启了更多的机会与创新动能。

Tokyo Electron(TEL)在台子公司–东京威力科创股份有限公司执行副总裁张天豪表示，TEL拥有58年开发高科技制造设备的悠久历史，在光阻涂布／显影机(Coater/Developer)、蚀刻(Etch)、薄膜沉积(Thin film deposition)、清洗设备 (Cleaning)、针测机(Wafer Prober)等产品上取得领先。随着产业进入EUV微影新时代，TEL在EUV量产应用上的涂布／显影机(Coater/Developer)取得了100%的市场占有率。

以此优势，TEL将持续强化其各项产品并提供整合式制程解决方案，以因应客户的先进制程需求。同时，TEL也开发TELeMetrics支持服务，提供大数据分析及线上专家系统，协助客户最佳化设备运用。此举亦满足客户的智能晶圆制造(Smart Fab)计划，以提升生产力、良率和获利率。

EUV可望进一步扩大采用

谈到半导体技术的发展趋势，张天豪表示，逻辑元件仍将持续微缩。为了在生产力与成本之间取得平衡，元件制造商除了在先进制程采用EUV之外，也必须增强现有的ArF浸润式微影技术。此外，EUV技术亦将被用来制造下一代DRAM。

其次，创新的3D结构，包括FinFET、GAA、3D NAND，以及钌(Ru)等新材料，对于未来先进制程的开发深具潜力。

第三个趋势是，随着AI应用的快速发展，为了加速运算，业界也开始更广泛地讨论逻辑与存储器整合的设计发展，包括在逻辑芯片上加入嵌入式存储器元件(embedded memory)，或是在存储器芯片里加入运算单元(in-memory computing)，此外，也发展出多样化的先进封装解决方案，以实现多样的异质整合元件设计。

身为领先的半导体设备制造商，TEL已制定了多项策略，来因应这些新兴的制程挑战。张天豪指出，「TEL为涂布／显影机市场的长期领先者，现更已囊括所有的制造用EUV涂布／显影机市场。在制程微缩趋势下，EUV的采用势不可免，并将从逻辑扩展到DRAM制造，必能为我们带来更多的机会。」

对TEL来说，除了涂布／显影机市场的进一步扩大之外，面对创新需求，TEL也推出了其他产品线的解决方案。TEL的蚀刻(Etch)、原子层沉积(ALD)和热制程CVD、扩散炉管(Diffusion)、针测机(Prober)和清洗设备(Cleaning)都拥有排名第一或二的市场地位。可以说，全球的先进半导体元件若缺了TEL的设备是难以被制造出来的。

「因为我们拥有悠久历史以及广泛的产品组合，我们有能力，可针对客户的特定需求提供整合的制程解决方案。TEL将积极开发新技术，以建构具高附加价值的下一代产品。9月25日，TEL企业创新战略部门总经理関口　章久/Akihisa Sekiguchi博士将在SEMICON Taiwan IC论坛发表在线演说，针对我们的技术与元件技术趋势做更详尽的说明。」

的确，随着各种新技术的兴起，制程挑战也变得更为复杂。在后摩尔定律时代，TEL看到了通讯、医疗、汽车等智能及物联网多样化的应用。芯片业者在追求定制化设计的同时，也希望能满足超高效率的大量生产目标。「对设备业者来说，要达成此目标，与客户提早展开合作，以加快产品开发时程，显得更为重要。」

张天豪还特别强调，TEL的针测机最新产品线已委由代工业者在台湾制造，可满足客户端定制化与快速的要求。同时，也成立了软件团队，提供高端芯片复杂测试的技术支持。

智能制造蔚为风潮　TELeMetrics服务正式就绪

在强化技术研发的同时，随着制造技术从自动化朝智能化迈进，TEL也积极导入AI技术，扩展了服务支持的能量。

张天豪表示，智能制造的应用有许多不同的层次。TEL已在设备设计阶段即广泛采用数码模拟技术。

另一方面，TEL已正式推出TELeMetrics服务。透过此服务，TEL提供大数据分析及线上专家系统，为客户的特定问题找出解决方案，例如故障排除、分析设备间差异、提升生产力，以及运用机器学习实现预测性维护等。

最后，张天豪指出，不管是提升研发和服务支持，背后最重要的推动因素，是来自源源不绝的创新，这也是因应5G/AI应用快速发展所不可或缺的。

为此，TEL近年加强了对创投的资源挹注，旗下TEL Venture Capital公司已成功进行多项投资，标的涵盖新兴存储器、纳米结构、量子点显示器等各种新创公司。

「TEL的目标是期望透过创投，扩大合作夥伴的范畴到整个技术供应链，从上游的芯片设计，到材料、软件开发、制造和其他应用均涵盖在内，不再局限于半导体设备技术。」

他强调，「我们相信，扩大视野，推动多元创新，强化异业合作，将是致胜高科技产业新时代以及提升我们对客户价值的重要关键。TEL将持续致力于发展最佳的产品与最佳的服务，以为公司未来的长期发展奠定坚实基础，并协同产业合作夥伴为创造理想社会贡献心力。」