最大半导体展在上海 奇鼎科技环控新亮点
- 陈其璐／新竹
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奇鼎科技于SEMICON CHINA展出先进制程段空气监控统筹方案。
2016年度全球最大半导体展SEMICON CHINA，将于2016年3月15日在上海新加坡际博览中心登场，同期与面板展FPD CHINA一同开启新年度的高端制程盛事。
奇鼎科技将于N5馆#5410摊位，展出先进制程段空气监控统筹方案，主要包括：半导体先进制程的环控监控系统(chemical contaminations/AMC inspection and control)、封测(WLP)段良率提升环控保护系统及面板制程高精度涂布(coating)品质控制方案。
奇鼎科技十余年来投入制程高精度环境监测与控制领域，将从整合系统的多选择性、高效率、节省供应链资源及能耗等，提出符合各个高端制程不同的环境控制需求，成为高端制程前往次时代的最佳夥伴。
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