科技1分钟：ArFi曝光机
- 许经仪
ArFi曝光机主要由ASML研发制造，于2004年与台积电合作推出世界上第一台商用XT:1250i，当前ASML在浸润式ArF微影领域占据高市占，Nikon则于2024年跟进推出NSR-S636E。ArFi此名称为技术原理的缩写...
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