Lam Research科林研发、Entegris和Gelest携手推进EUV乾式光阻技术生态系统
- 美通社
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透过协同合作，为全球芯片制造商提供强大的化学品供应链以支持下一代EUV应用的研发
Lam Research 科林研发 （NASDAQ: LRCX）、Entegris, Inc. （NASDAQ: ENTG）和 Mitsubishi Chemical Group旗下 Gelest, Inc, 宣布了一项策略合作，将为全球半导体制造商提供可靠的前驱体（precursor）化学品，用于Lam Research 科林研发突破性的极紫外线（EUV）微影乾式光阻技术，这是一种生产次时代半导体的创新方法。三方通力合作 EUV 乾式光阻技术的研发，将促进逻辑芯片和 DRAM 产品未来时代的发展，以助力机器学习、人工智能和移动设备等先进应用的实现。
强大的制程用化学品供应链对于 EUV 乾式光阻技术整合于大量制造是至关重要的。新的长期合作关系将进一步扩大乾式光阻技术的生态系统。再加上来自半导体材料市场领导者的双重供应，可为全球市场的持续供应提供保障。
此外，Lam Research 科林研发、Entegris 和 Gelest 还将携手合作，加快开发具成本效益的 EUV 乾式光阻技术解决方案，未来可应用于高数值孔径（high-NA）EUV 曝光。高数值孔径（high-NA）EUV被广泛认为是未来数十年内，元件持续微缩和半导体制程进展所必备的曝光技术。乾式光阻技术可提供高抗蚀刻性与厚度微调，以支持高数值孔径（high-NA）EUV 的较小景深要求。
Lam Research 科林研发执行副总裁暨技术长 Rick Gottscho 表示：「乾式光阻技术是一项重大突破，它解决了使用 EUV 微影技术微缩 DRAM 和逻辑芯片制程的最大障碍。此次合作将Lam Research 科林研发专精的乾式光阻技术和先进制程解决方案，与两间具备材料科学优势和值得信赖的前驱体化学品领导业者结合在一起。乾式光阻技术生态系统的扩展，开启令人振奋的创新格局，并将推动此技术于大量生产。」
最初由 Lam Research 科林研发与 ASML 和 IMEC 合作开发的乾式光阻技术，提升了 EUV 微影的分辨率、生产力和良率，从而解决了下一代 DRAM 和逻辑芯片技术相关的关键挑战。它提供卓越的 dose-to-size 和 dose-to-defectivity 的效能，以提升 EUV 曝光机的生产力并降低持有成本。此外，与传统光阻制程相比，Lam Research 科林研发的乾式光阻技术可消耗更少的能源，且原料消耗量比之前要少五到十倍，提供了关键的永续发展优势。
Entegris CEO Bertrand Loy 表示：「Lam Research 科林研发的乾式光阻技术反映了材料层面的关键创新，并且优势众多，包括分辨率更佳、成本效率更高以及令人信服的永续性效益。我们很自豪能够成为这项创新合作的一部分，以加速乾式光阻技术的采用，并成为客户值得信赖的制程材料供应商，因为他们致力于利用这一重要技术创造下一代半导体。」
Mitsubishi Chemical Group 旗下 Gelest 公司总裁 Jonathan Goff 表示：「我们与 Lam Research 科林研发和 Entegris 合作促进 EUV 微影用乾式光阻技术的发展，这表明我们致力于支持芯片制造商在材料科学领域的创新。近年来，我们已经看到 EUV 展现出了非凡的价值，我们很高兴成为生态系统的一部分，以扩展其潜力。」
关于Lam Research 科林研发
Lam Research 科林研发为半导体产业提供创新晶圆制造设备和服务的全球供应商。Lam Research 科林研发的晶圆制造设备与服务让客户能创建体积更小和效能更好的电子元件。事实上，今天几乎所有的先进芯片都是利用 Lam Research 科林研发的技术来制造。我们结合卓越的系统工程、技术领先的优势、和强大的价值导向文化，以及对客户坚定不移的承诺。Lam Research 科林研发 (那斯达克股票代号: LRCX) 是一家 FORTUNE 500® 公司，总部位于美国加州佛利蒙市，营运遍布全球。欲了解更多信息，请造访 https://www.lamresearch.com/。
关于 Entegris
Entegris 是半导体市场电子材料领域的全球领导者。Entegris 拥有约 8,800 名员工，业务遍布全球，除了针对生命科学和其他先进制造环境的解决方案外，还为半导体客户提供业界最全面、最创新的端到端产品。Entegris 的解决方案可帮助客户提高效能、良率和产量，从而实现改变世界的技术。它在美国、加拿大、国内、法国、德国、以色列、日本、马来西亚、新加坡、韩国和台湾设有制造、客户服务和/或研究机构。欲了解更多关于 Entegris 的信息，请浏览www.entegris.com，或在 LinkedIn、Twitter、Facebook 和 Instagram 上关注我们。
关于 Gelest
Gelest 是一家总部位于美国的创新企业、制造商和专精于特殊矽胶、有机矽烷、有机金属和丙烯酸单体的全球供应商，服务于医疗设备、生命科学、涂料和接着剂、微电子和个人护理等先进技术终端消费市场。作为 Mitsubishi Chemical Group 旗下子公司的 Gelest，可以运用世界上最大和最成功的化学公司之一的专业知识、研发支持和技术资源。Gelest 透过开发最先进的化学技术、产品和服务，因应社会上最复杂的材料科学挑战，以协助客户取得成功。
前瞻性声明注意事项
本新闻稿中一些非既往事实陈述为前瞻性声明，这些声明受 1995 年美国《私人证券诉讼改革法案》的安全港条款约束。这些前瞻性声明论及但不限于：Lam Research 科林研发、Entegris 和 Gelest 能够及时提供足够数量与品质的机台和化学品以满足客户需求的能力；三方合作的持续时间、目标或成果；Lam Research 科林研发的机台和制程的效能，特别是透过使用 Lam Research 科林研发的乾式光阻技术获得的效能和优势；新技术对 EUV 微影成本和生产力的影响；需要提高 EUV 微影的生产力和分辨率；透过使用新技术节省的能源或原料的数量；以及产业合作的效益。这些陈述基于目前预期，并受风险、不确定性以及条件、重要性、价值和效果变化的影响，包括我们向证券交易委员会提交或提供的文件所描述的风险和不确定性，具体包括 Lam Research 科林研发在截至 2021 年 6 月 27 日会计年度的 10-K 表格年度报告和截至 2022 年 3 月 26 日的季度 10-Q 表格季度报告，以及在 Entegris 截至 2021 年 12 月 31 日会计年度的 10-K 表格年度报告和截至 2022 年 4 月 2 日的季度 10-Q 表格季度报告中描述的风险因素。这些不确定性与变化可对前瞻性声明产生重大影响，导致实际结果与预期有明显不同。Lam Research 科林研发没有义务在日后对此新闻稿中发布的信息做出更新说明。
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