台湾纯水携手梅特勒托利多 展示半导体超纯水解方

台湾纯水与梅特勒托利多携手参展2026 SEMICON半导体展，推出智能水循环解决方案，解决超纯水品质监控和水资源回收效率等痛点。梅特勒托利多

在半导体产业持续追求高良率与永续制造的趋势下，用水品质管理与废水回收效率已成为重要课题。半导体制程水处理与回收专家台湾纯水（TAIPURE）将于SEMICON Taiwan 2026国际半导体展展示其高回收率废水处理技术，并结合全球超纯水监测领导品牌梅特勒托利多（METTLER TOLEDO） 的在线水质监测方案，协助半导体厂实现水系统智能化管理，提升水资源利用效率与系统稳定性。

台湾纯水结合AI效能预测 实现制程用水97%回收率

台湾纯水针对晶圆切割、研磨与CMP等高浊度废水，开发出独家超滤系统。该系统采用日本Kuraray PVDF 亲水化超滤膜（UF），具备高通量与高强度特性，配合单边开放式结构，能有效防止悬浮固体（SS）在膜面堆积。该系统成功实现了97%的极致回收率（制程全过滤，无逆洗水），并具备24/7全天候长效稳定运行、完全零化学药剂添加、污泥减量与绿色减碳之物理净化优势。经实厂运行一整年，系统压差仅微幅增加 0.01~0.02 kg/cm²，且至今无须进行任何化学清洗保养，展现极佳的系统稳定性。

为落实智能化营运，系统更深度整合AI效能预测模型。透过结合线性回归（分析基线以掌握积垢基础速率）、XGBoost（进行残差学习以识别周期性操作规律）与EWMA（适应性偏差补偿以实时校准）三大演算法，实时预测系统压差趋势。经长达一年的实厂验证，其压差预测准确度高达 93.8% 至 98.5%，能提前发出杂质预警，确保系统不停机。

梅特勒托利多助力超纯水精准监测   守护晶圆良率

在半导体水循环中，去离子水回收（DIR）系统之入水与超纯水（UPW）的水质监控是确保产线稳定的关键命脉。微量有机污染物（TOC）可能促进微生物生长，TOC、微生物或离子一旦渗入制程，将会损害晶圆表面并导致缺陷，严重损害芯片良率。随着半导体产业积极追求水资源循环与提高回收效率，如何在强化DIR有效回收的同时，维持超纯水水质的极致稳定，已成为晶圆制造端不可忽视的核心课题。

为此，梅特勒托利多Thornton推出高精度在线超纯水监测技术，，协助半导体业者在制程中实时掌握有机污染物与离子浓度变化，及早预警并采取因应措施，进一步提升制程可靠度与水资源管理效益。

该解方整合三大前瞻技术：首先，「UPW UniCond 导电度传感器」具备领先业界的测量稳定性与高抗噪性，降低环境与样品温度波动干扰，实时监测离子纯度并发出杂质预警；其次，专为极细微有机污染设计的「6000TOCi 总有机碳分析仪」，提供连续在线实时测量，可将运转所需的水样流量降至 8.5 mL/min，有效降低废水量，进而省下可观的营运成本；此外，系统整合「ISMTM智能传感器管理」技术，透过内建存储器自动传递校准数据，实现随插即测的快速安装，搭配「动态使用寿命指示器（DLI）」能针对 UV 灯具、过滤器等提供实时寿命预警，彻底缩短停机维护时间。

实现水系统一站式完美循环创造环境与经济双赢

台湾纯水的极致回收系统搭配梅特勒托利多的高精准度在线检测，成功建立起从超纯水的源头纯度控制，到末端回收水系统高效回收的完美智能循环。根据实厂数据评估，这套整合方案每日可为封测厂回收约 717 M³的水，减少738 M³的废水排放，每年净节省成本高达490万元，整套设备的投资回收年限仅为1.84 年。高精度在线监测与智能物理回收的双剑合璧，正是半导体制造商降低生产风险、提高芯片良率，并加速实现ESG永续目标的最佳实践。

台湾纯水与梅特勒托利多将于2026年9月2日（三）至 9 月 4 日（五）携手参展SEMICON Taiwan 2026，于二馆四楼摊位R7821展示半导体水系统智能化管理解方，欢迎产业先进莅临参观指教，欲知更多详情，点此浏览更多。