DISCO推出自动化雷射剥离解决方案
有监于产业与市场的需求,DISCO TAIWAN将于2015年第二季开始为客户提供雷射剥离技术的试切服务。由日本受训认证的专业工程师,提供样品试切、参数设定等协助客户研究开发的解决方案。
雷射剥离技术普遍应用于垂直结构LED,由于蓝宝石基板的导热性不佳,影响发光效率,需将InGan黏合至热传导较佳的矽基板或是金属基板,并利用雷射高温分解InGan和蓝宝石基板。除了垂直结构LED外,近期在雷射剥离技术也开始应用在穿戴式装置用的LED及半导体先进制程。
DISCO开发的雷射机台,提供全自动化雷射剥离的解决方案,Wafer加载后,全自动化将Wafer和蓝宝石基板分开,然后置入不同的载物台。相较于传统的气态雷射,DISCO的固态雷射解决方案,可提供更快速、更高品质的加工结果,尤其对于PSS(Patterned Sapphire Substrate) Wafer有极佳的剥离效果。台湾目前已有厂商导入DISCO雷射剥离技术的成功案例,并开始进行量产,近期亦有多家厂商正在进行样品试切与方案评估。
在3月25日至3月28日的台湾国际照明展中,DISCO TAIWAN将于现场展出相关制程,敬邀各界莅临参观。