安智电子材料开发新颖有机矽氧烷化合物材料

Siloxane 于金属氧化物TFT之应用。

安智电子材料(AZ)致力于矽材料商业化开发已超过10年的历史。业界所熟知涂布介电材料PHPS(Per hydro poly silazane)聚矽氮即为产品之一，在半导体90纳米以下制程已受到广泛应用。

矽材料开发

但有监于制程上的要求及所需特性的差异，PHPS无法在光电或其他产业上被接受，因故改采用矽氧前驱物(Siloxane)的材料来满足生产及设计上的需求。

主链结构使得此类材料的特性偏向类似二氧化矽的无机材料，在耐热性、透光性及电性上均较有机材料有所提升。而支链的部分采取有机官能基的修饰，能针对应用厚度、所需光电特性或制程条件等加以调整，以达到符合应用端所需的目标。

而在平面显示器规格提升之下，制程亦有复杂化的趋势。保留性材料的最终特性将直接影响到显示器的表现。正型感光Siloxane材料在高温及后续热制程都呈现出优异的穿透度稳定性。而开发中的负型材料不论在稳定性或感光速度都较正型材料有更进一步的提升。

应用案例

近年来无论在高解析或OLED显示器的开发上，金属氧化物半导体的应用益趋重要。由于制程温度要求大于摄氏300度，有机材料已不符合制程条件的需求。工研院及日本奈良大学以本公司材料进行元件验证，均获得了良好的电性表现。