环保意识抬头　先进科材推DfE标章产品

先进科材(ATMI)宣布旗下新产品「iCleaner」通过美国环境保护局(Environmental Protection Agency；EPA)认证，获得「环保设计」DfE(Design for Environment)标章，这是半导体产业首度获得环保标章的化学产品。

先进科材是半导体材料和高纯度材料处理和运送解决方案厂商，协助半导体、面板和Life Science产业推动制程效率。

先进科材日前表示，旗下的「iCleaner」产品是专为半导体制程中的清洗流程所设计，日前该产品获得美国环境保护局认证颁获「环保设计」DfE标章，是半导体产业首度获得环保标章的化学产品。

先进科材指出，身为产品工程创新者和半导体产业材料和包装业者，协助发展产品设计都结合两个核心原则，分别为「绿色工程的12个原则」和「绿色化学的12个原则」。

先进科材也指出，研发团队透过旗下的高效率研发设备(High Productivity Dev elopement)和「12个原则」方法，发展出低臭味和对环境无害的配方，图绳也兼顾高效率和低成本的在线清洗方式，对于基准清洁(Baseline Cleanliness)对集成电路制程环境而言，也是关键的部分。

先进科材进一步指出，随着电子产品的外型尺寸开始追求轻薄短小，对于晶圆处理环境中的晶圆表面和其他表面的清洗更为关键，除了安全和环境考量之外，与过去方法相比，该产品强化的清洗效能在不影响良率的前提下，不但可提升生产率，更对制程无其他负面影响。