《人物专访─DAS台湾区总经理沈森永》制造业吹起绿色旋风　DAS勾勒环保蓝图

DAS台湾区总经理沈森永。

全球制造业正刮起了一阵巨大的生产技术改革旋风，高生产率及低成本已不再是唯一的准则。在21世纪，「绿色产品」和「绿色制程技术」将会成企业的竞争优势。而绿色制造的重点在于节能、省水、有毒物质处置、废弃物减量、废气排放减量，以及各种环保指标。

环境技术领导厂商DAS达思系统，20年来专注于研发和制造废气与有机废水处理等先进环保设备，该公司的解决方案获全球100家以上的半导体和相关高科技公司采用。2011年SEMICON Taiwan期间，DAS将于论坛勾勒高科技环保蓝图，以下为访谈摘要：

问：绿色制造涵盖广泛的课题，您能从节约能源、减少废物和降低毒害等不同方面说明吗？

答：绿色制造的好处是降低对新发电厂的需求，也减少制造的成本。而减少废物则是另一个关键，海岛国家只有有限的地方处置垃圾，减少废物不但对民众有利，对制造商来说也能降低成本。减少废物也能为当地居民带来更洁净的空气和水，也同样对全球暖化有所帮助。

问：因应这些挑战，DAS的价值主张将会如何展现呢？

答：绿色制造并不意味着额外的成本，绿色制造应该是具有实际效益和环保意识的制造技术。DAS所提供的解决方案能为客户降低成本，同时也减少能源消耗、降低化学品使用、改善燃炉以降低全氟化物(PFC)和一氧化碳(CO)的排放。DAS所有的努力都是为了能促进绿色制造的概念。

问：针对半导体业的绿色制造需求，DAS有哪些解决方案？

答：DAS早在1996年就已经推出了ESCAPE系列进入台湾市场，该技术解决方案是点置(POU)设备搭配高温/洗涤(burn/wet)技术，主要用于半导体、LED、太阳能和FPD产业。因应节约能源和减少废物的要求，我们扩充了CVD应用的产品线，推出了最新的废气减排工具STYRAX。STYRAX系统的特点是较长的保养周期(LPCVD制程>1个月)，以及更广泛的应用领域(增强对CVD气体的能力)。

问：DAS在台湾有哪些客户？可以提供任何有关DAS如何成功帮助客户减少废物和洁净水资源的例子吗？

答：DAS在1996年开始拓展台湾市场，并在1997年1月完成了第1套系统安装。过去15年里，我们已经为客户安装超过1,100多个系统，客户包括台积电、联电、华亚、南亚、华邦、旺宏、瑞晶、茂德、友达等。帮助客户处理有毒、易燃或全氟化物(PFC)等废气，效率达99%以上，超越了German Clean Air Regulations所制定的TA-Luft标准。DAS的高温/洗涤(burn/wet)技术解决方案已经成为台湾废气减排的主流。

问：目前DAS在台湾有多少员工呢？2011年是DAS成立20周年，DAS有任何扩张或投资计划吗？您拓展台湾或大陆市场的策略为何？

答：我们目前在台湾大约有70位员工，超过80%是服务及工程团队。为了提供客户更良好的支持服务，已经在林口、新竹、台中和台南成立技术支持中心，以贴近客户，确保能实时提供客户所需的服务。目标是协助客户投入量产的同时，也能满足环保排放要求，并消除环境健康安全(ESH)风险。而从2000年进入大陆市场到现在，DAS目前在大陆约有20位员工。

问：在这次SEMICON Taiwan「绿色制程技术趋势论坛」中，DAS想传递哪些关键信息呢？

答：DAS这次在论坛想传达的重点是「我们了解客户的需求，同时我们会尽我们所能帮助客户达成对未来的要求」。我们致力于满足客户需求的同时也对环境负责，开发或升级减少排放的产品，也采纳新思路以设计出减少能源和化学品销耗的产品，进而帮助客户达到绿色制造的概念。