台湾安智推出先进平面显示器制程的关键材料

台湾安智电子材料(AZ Electronic material)为平面显示器产业的主要电子化学材料供应商，尤其是应用在TFT-array的黄光制程材料。目前安智针对先进的金属氧化物TFT(Metal Oxide TFT) 与TFT-array铜导线制程，推出一系列的新产品。

针对金属氧化物TFT推出的高耐热、高阻水的平坦化材料，以矽元素与有机材为两种主要成分，藉由融合此两者的特点，得到了高耐热与高膜厚的平坦化材料。其耐热温度可高达摄氏500度，并藉由一般常用的光阻涂布机，可得到厚度约介于0.2um至15um的膜。对于不同金属氧化物TFT的制程需求，此高耐热、高阻水的平坦化材料又可设计为感光与不感光两种形态。此特性可补强金属氧化物TFT对环境的敏感性，进而设计出结构更佳的平面显示器。

另一方面，因应3D显示器时代的来临，TFT-array制程中铜导线为其相当重要的一个切换关键。因应此关键制程的转换，安智电子材料也推出铜导线制程专用光阻剂，藉由提升光阻剂的表现，来提高整体的良率。此新配方光阻，除提升铜导线制程能力外，亦可配合客户需求，针对4道光罩制程的制程参数进行优化。

安智电子材料秉持着服务客户、与客户一同创新成长的精神，持续与客户针对先进制程，共同开发新的材料，并在合作的过程中达到互惠双赢的成果。