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半导体物料搬运朝空中发展 OHT从晶圆厂延伸至封测端

  • 黄女瑛台北

空中走行式半导体物料运输,从晶圆厂扩至封测厂。盟立
空中走行式半导体物料运输,从晶圆厂扩至封测厂。盟立

半导体厂每站生产制程中的物料搬运开始朝智能化运输发展,台系设备业者已从成熟的自主移动机器人(Autonomous Mobile Robo;AMR)朝空中无人搬运车(Overhead Hoist Transfer;OHT)发展,台厂代表性业者包括广运、盟立、均豪等。

据了解,AMR与OHT于半导体物料搬运中的搭配组合,在台积、联电、世界先进等晶圆厂已行之有年、且相当成熟,尤其是OHT部分,过往主要供应商以以日系厂为主力,因此其累积不少专利。

OHT产业发展动态

OHT产业发展动态

以近年才跨足OHT的台厂来说,这些专利并未构成跨足门槛,说明晶圆厂更换全新OHT系统的机率不高,反而是封测厂的潜力、才是台系设备厂跨足的主动力。
 
过往,封测厂在制程的要求、精密度都不及晶圆厂,再加上毛利率、制程特性不同等,更倾于使用人力。不过,为减少人力搬运、提升搬运效率等,当前封测厂导入AMR已算普遍。

随封装制程愈来愈精密及当下的缺工等问题,封测厂积极评估纳入OHT系统。就供应链的认知,目前OHT、AMR均备的封测厂,以封测龙头厂日月光高雄厂最具代表性。广运分析,导入OHT的优势包括下列3项:

第一,3年可回本。封测厂各站所需的人力不同,以人力最多、运输最频繁的站别来看,导入OHT系统约可减少8成人力,包括搬运人力、AMR设备维修工程师等。OHT每年创造的投资报酬率(ROI),约3年即可摊平成本。

第二,省下4成坪数面积。有效规划导入OHT后,人力活动空间、工作时所需的站台等都可以省去,使原生产站占地平数面积可省下4成。

第三,产出率拉升至1.5倍。如果将省去的4成地坪面积再添加生产设备,原有产出率可增加至1.5倍,也同步提高整体的产值。
 
广运指出,在距离长、量多、重量大的生产站,最能将OHT的优势发挥淋漓尽致。OHT就形同高铁般的运输特性。例如封测的凸块封装(Bumping)是可将OHT效益有效发挥的代表性制程之一。

若以交通运输的观念来看,其实OHT也比AMR的运输管理规划来得简单,因为有特定的轨道运作,形同在闭锁的范围内运行。不过,若切入OHT系统没有门槛,何以台系设备厂近年才导入?
 
广运透露,主因封测厂嗅到需求,即「商机浮现」才积极切入。设备厂切入OHT技术门槛不高,再加上相关零组件可在地供应,创造的潜在优势也吸引封测厂。另外,长年大量使用AMR后也发现,购入成本高、维修成本也不低,投报率相对不高。或许OHT、AMR搭配,可达到最佳运输效率。

台湾是全球半导体产业聚落效应发挥最佳的区域,其中,封测厂更是举足轻重。特别是全球封测厂随制程精密化而且愈发讲求效率,让台系设备商OHT、AMR的组合有更大发挥舞台。
 

 
责任编辑:朱原弘