Veeco发表新型K465i高效能MOCVD设备 LED业界最低拥有成本机台 具备最高量产产能与生产良率

Veeco新型TurboDisc K465i GaN MOCVD机台。

在LED TV及LED照明市场的带动之下，2010年的LED市场显得相当乐观，相关业者纷纷展开扩产计划，也带动了LED上游磊晶制程用的有机金属化学气相磊晶(Metal Organic Chemical Vapor Deposition；MOCVD)设备需求。其中，知名的MOCVD大厂美商威科(Veeco)，除了机台接单畅旺、营运逐季成长之外，日前更推出领先的最新机种，以因应市场客户迫切的量产需求。

Veeco于1月19日正式发表其最新型的MOCVD机种--TurboDisc K465i GaN MOCVD，该款机台为目前LED业界最低拥有成本的高效益MOCVD设备，并且同时具备业界最高量产产能与业界最高生产良率。

Veeco大中华区总经理王克扬表示，K465i建构在之前推出并经过量产验证的K465平台上，除了采用了Veeco最先进的TurboDisc反应室技术之外，并包含了新的Uniform FlowFlange技术，可达到最高的磊晶圆一致性与极佳的制程重复性。K465i同时使用新的材质的加热器，寿命能超过9个月以上，大大的提高机台的使用率。

此外，K465i并提供简化的机台操作设计，业者将可以很容易地调整机台，使其达到快速量产的标准；同时在机台维护保养之后，亦可迅速地回复到原先量产状况。因此，TurboDisc K465i GaN MOCVD是一款以最少的设备投资即可获致最高投资收益的先进机台。

在量产产能方面，已经过量产验证的K465i自动化生产平台，产能将可高出40~120%，并且在保养维护作业后，一开始运转即可恢复原量产阶段。值得一提的是，Veeco最先进的TurboDisc反应室清洁技术，使得K465i得以延长每次保养维护的间隔时间，让两次保养维护之间的机台运转次数达到最多。

在生产良率最佳化方面，K465i可以让磊晶产品在波长5nm bin的良率达到90%，并可将波长的一致性与每次运行的波长重复性提升改善25%，同时可将微粒子(particle)的产生数量降至最低，因此可以获致极佳的生产良率表现。

K465i在推出的同时，Veeco已接获近70台K465i来自台湾及韩国大厂的订单，并预计在今年第2季开始出货。