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永光精进IC光阻技术研发 提高客户生产良率为目标

  • 李佳玲台北

永光位于桃园电子化学事业处生产基地,是台湾唯一提供IC光阻剂的本土供应商。
永光位于桃园电子化学事业处生产基地,是台湾唯一提供IC光阻剂的本土供应商。

永光化学早年从纺织皮革染料起家, 1995年承接工研院材料所光阻技术,投入IC光阻剂研发工作,历经十多年的研发技术精进,目前已成为台湾唯一提供IC光阻剂的本土厂商,在半导体黄光微影制程关键化学品供应链上扮演一个重要角色。

永光总经理陈伟望表示,1998年电子化学事业处开发出第一支G-Line光阻产品EPG510,同时获得国际大厂以及台湾半导体厂商导入,在大中华区的市占率逐年提升。为因应半导体先进黄光微影制程需求,永光已经朝更高分辨率的关键层光阻产品EPG-535来开发,EPG-535也是今年度台湾、中国市场主推的新产品,并且会在2009年SEMICON半导体展会中亮相展出。

在I-Line光阻产品上永光也有具体的成效,2009年以I-Line保护膜光阻作为主力产品,陈伟望说,永光于2008年正式运作的I-line Track半导体制程模拟产线,已具备黄光微影制程所需的各项涂布、烘烤、曝光、显影等设备,能有效模拟客户实际制程条件,并比对各批次晶圆量产稳定度,不断精进改良光阻化学特性,以满足半导体厂商所需,提高生产良率。

除了在光阻产品的开发投入外,永光在其他电子化学品,包括用于研磨制程的研磨液、抛光液、清洗液等产品也持续投入研发能量,为客户开发出更适合的产品,以创造更多价值建立双方长远的夥伴关系。

在两岸布局上,2007年永光(苏州)光电材料公司开工营运,成为永光于中国地区的发展基地,服务当地客户。上海为IC产业的生产重镇,永光将锁定高端技术跟客户做搭配,以雄厚的研发实力,为客户开发相对优势的产品。华南地区,因为客户作业弹性高,永光主要提供高成熟度产品,快速供应当地客户,满足机动性需求。

以往永光秉持「技术+服务」的精神,强调在地生产、量身订做、实时服务、价格优惠等四项诉求,未来将持续不断深耕大中华地区客户,与客户保持良好互动关系,透过了解客户的困难跟需求,提供最好的建议以及技术的服务。

永光近年来在大中华市场成功布局以及优越的技术能力,已经受到许多美日同业大厂的注意与青睐,陈伟望表示,全球化发展为必然趋势,过去可能是竞争关系,现在则已逐渐转化为合作关系,期待未来可以有更优质的合作夥伴,制造更多方面合作机会,打造永光成为全球半导体产业中重要化学品供应链之一员。

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