志尚仪器提供高科技厂房微污染监测整体方案

志尚仪器提供Series 9100 PPWD 微污染采样系统（可与离子层析仪结合）。志尚仪器

志尚仪器自1990年成立至今，不断的充实自我研发能力，并积极与海内外相关研究单位合作，已从一个单纯气体分析仪器代理商的角色，提升为气体分析仪器制造商及系统统合商（Turn-Key Solution），现今又正式成立研发制造部门，正式踏足研发制造领域，成为具备由仪器谘询→研发制造→仪器销售→系统整合→分析校正服→仪器租赁，提供客户完整治标暨治本的解决方案。

最新「无放射源」IMS 分析仪符合SEMI IRDS Roadmap 微污染分析

在SEMI IRDS Roadmap中所建议半导体厂中侦测AMC的分析方法为PPWD-IC、IMS、PAS、CRDS、PID、APIMS等，而IMS技术为目前最常用的监测方式，主要在于其价格相对较低与操作简易，但是以往客户都会因为使用了含有镍63或是氚等放射性元素造成使用上有着不少的限制。

因此近年来志尚仪器一直努力不懈的与国外做相关技术的交流，目前已经成功的开发出最新一代的离子电泳分析仪（IMS），其设计纳入了前几代的优点：可以使用空气做为Dopant外也可以采用化学Dopant，另外在电路上也采可以交换正负极的方式一机可分别侦测酸硷两种气体，并且使用空气为电荷供应源时可以同时量测多种酸性气体（HCl/Cl2/HF/Acetic Acid/Nitric Acid/Total Acid）; 此外可加温的传感器设计可以避免样品浓度过高造成污染。

高科技厂房排放管道在线酸硷气体暨气溶胶成分分析技术

此外志尚仪器还继续与国立阳明交通大学蔡春进教授的进行更进一步的技术合作，并成功将蔡教授的Denuder技术进行商业化改良，并与ISO 17025实验室结合，已经成功开发出新一代的AMC分析仪（PPWD-IC），除了可以针对大气做成分分析也成功应用于高科技厂房有关酸硷排放气体（五酸一硷）的在线侦测。

志尚仪器在交大环工所蔡春进教授的指导下，成功将原本使用在AMC领域的PPWD（湿式平行板气液吸收器）用于排放管道中五酸一硷的侦测，也可经由SDEP/PILS进行微粒中化学成分的分析；此外更与蔡教授合作发展新型的排放管道PM2.5光学式在线连续监控系统，针对高科技厂房中因为酸硷气体与高湿度造成光学系统的不准度设计特殊的前处理设备，更使用Beta-Gauge做双重验证确认数值准确度。

防止地球气候继续暖化 志尚提供相关温室气体（CxF）分析仪

由于温室气体效应造成地球持续暖化现象，温室气体的排放为现在高科技厂房重中之重的课题，志尚仪器代理国外知名的温室气体分析仪以光腔衰荡光谱（CRDS）与光声光频光谱（PAS）两种技术，提供高科技厂房相关客户高准确性或是高C/P值的温室气体分析技术，侦测极限低、准确性高，目前部分已装设在台湾环保署的相关测站中，提供甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、一氧化二氮（N2O）、CxF等温室气体。

TAF 认证流率校正实验室

另外志尚仪器成立至今为了不断的追求品质目标以提供客户最佳的售后服务，不仅通过ISO9001认证，之后又先后成立ISO 17025认证暨TAF第1936号气体流率（Flow Rate），并在ISO9001体系下提供客户优质的气体传感器（Gases Monitor）校正及大气酸硷气体分析等服务。如需进一步志尚产品信息，请上官网查询。