海德汉ETEL 专注精密运动控制解决方案的专家

海德汉于SEMICON TAIWAN 2022将展示集团一系列的高精度产品，包含光学尺与模块式角度编码器、NUMERIK JENA与RSF的开放式光学尺、ETEL的精密运动控制以及适用于电子半导体业的高端运动平台VULCANO2，为您呈现高性能与高产能完美并存的解决方案，欢迎莅临海德汉摊位K2870指导参观。

Dplus编码器与MULTI-DOF量测技术带您进入一个崭新的精度境界

LIP 6000 D plus 与GAP 1081，搭配MULTI-DOF多自由度光学尺的额外反馈，能为您实现极佳的量测精度，使您可以量测与补偿在多自由度相关的位置误差。

RSF的直线/角度编码器，适用于自动化、电子制造与量测设备的高精度解决方案

RSF编码器具有丰富的通讯界面设计与尺寸选型，精确、可靠、抗污、好安装，适用于对精度、产能都有要求的应用场合，如：PCB、面板、后段半导体制程。MCR15/MSR15模块化角度编码器，分辨率可达25bits，环尺寸由50mm到350mm。MC15/MS15直线光学尺，速度可达10米/秒，分辨率可达50纳米。

NUMERIK JENA直线光学尺LIKgo 与 LIKselect，极致精巧、用途极广

LIKgo 与LIKselect 完美适用于狭小安装空间与高精度要求，精确、可靠、抗污。这种小尺寸设计的灵活性受益于高度整合电子电路的精巧读头以及可自由搭配的玻璃尺或钢带尺。

模块式角度编码器MRP 8100与SRP5000

SRP5000将ETEL直驱马达与海德汉角度模块MRP结合，成就其高规的运动表现。有空气轴承的精度表现，拥有机械轴承的刚性，零顿挫力。

SRP5000转台可以满组您晶圆检测的应用需求，其精度在变动负载条件中仍然非常可靠。

VULCANO2：高速精确定位

在重负载、高运动周期、大运动行程使用下仍有卓越动态特性与超高精度。ETEL的VULCANO2运动平台应用广泛，从前段晶圆检测到先进封装，搭配QuiET主动式制振平台达到零整定时间并使产能达到极致表现。

RTMB+, TUCANA ST and AQUARIUS ST: IC转塔测试新视界

来自ETEL 的RTMB+ 转台满足高速与高负载需求，增加工作站数，处理更大尺寸IC，驱动大尺寸转台，更强大性能表现，并使您的制程更可靠，而 TUCANA ST 和 AQUARIUS ST，40G加速度，微小力量控制，力量控制确保在封装和检测过程中完全不损坏芯片与晶圆。