半导体气体控制有学问 电技术有看头
- 黄书玮／台北
-
半导体设备内的 Chamber（腔室）内的气体控制其实是一门既基础又重要的学问，晶圆良率表现好坏与否，各类气体控制与动力是相当重要的关键。然而，在设备内的阀门控制上，除了流量、压力等数字上的表现，悬浮微粒的多寡与否，也会对晶圆良率带来相当大的影响。因此，如何又快又准地控制阀门，就成了相当重要的关键。
飞斯妥技术总监卢昭序（左）与【姚姚Tech666】主持人姚嘉洋。IC之音
来宾：飞斯妥技术总监卢昭序
本集重点：
1. 台美韩半导体业者皆需压电技术精准控制阀门
2. 不仅用在阀门，先进封装场域也适用
3. 收购AI技术公司，为半导体设备零组件导入预测性维护
获取产业最新信息，聆听【姚姚Tech666】还有以下方式：
📣每周三更新，各大Podcast平台同步上线，欢迎关注与订阅。
📣广播：IC之音FM97.5（桃竹苗），每周三18:00播出。
关键字
