EUV发展关键为数值孔径 未来先进制程发展该如何解套?
- 黄书玮／新竹
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国立清华大学半导体研究学院林本坚院长（右）与【姚姚Tech666】主持人姚嘉洋。IC之音
在上一集，林本坚院长分享了国内仍能用DUV打造5nm制程，以及对于中美贸易战的看法。这一集延续了林院长的论述，对于EUV的未来发展，以及面对各国在半导体产业的强力发展，台湾又该如何自处，林院长为我们提供了深入浅出的看法。
来宾：国立清华大学半导体研究学院林本坚院长
本集节目要点：
📣EUV数值孔径增加将拉抬建厂成本，Multiple patterning应为解方。
📣无需惧怕对手追赶，台积电需将研发能量留在台湾。
📣摩尔定律新解：经济价值。
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