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荷兰记者进入ASML研究三年 一手曝光ASML如何看待美国EUV管制

  • 陈奭璁台北

对ASML来说,政治已经不再是次要议题。李建梁摄
对ASML来说,政治已经不再是次要议题。李建梁摄

美国持续对中国实施半导体相关技术和设备的出口限制,特别是禁止中国取得ASML生产的极紫外光(EUV)曝光机,这被视为美国在半导体领域最重要的单一出口管制措施。此举主要基于美国国家安全考量,防止先进芯片制造技术流入中国市场。

在即将出版新书「造光者」中,荷兰《新鹿特丹报》(NRC)资深科技记者Marc Hijink获ASML同意深入内部研究长达三年,以第一手视角,纪录ASML如成为全球科技霸权争夺的战略核心。以下部分书摘,提到荷兰政府、ASML如何看待美国政府的技术管制:

「全球化已死」:从美国压制荷兰,看台湾在地缘棋局的下一步

ASML向来以与全世界做生意为荣。韩国客户来访时,接待处的荷兰国旗旁边就会摆上韩国国旗。中国企业来访,则会看到中国国旗飘扬。这反映了ASML对所有客户一视同仁。只可惜,如今世界的运作已不再那麽单纯了。

在数以百亿计的政府补助资金挹注下,中国的芯片厂如雨后春笋般崛起。2017年,中国客户下单的曝光机总值高达七亿欧元。几个月后,中国芯片制造商中芯国际的执行董事梁孟松在上海签下了他们的第一台EUV曝光机订单。

监事会立即指出风险,直言:「各位,这恐怕会出问题,美国不会放行所有的交易。」但ASML的管理高层毫不在意这些顾虑。他们认为ASML不涉政治,而且多年来一直都有供货给中芯国际。

结果,ASML向荷兰申请对中国的出口许可时,美国立即展开外交移动,试图阻止EUV曝光机进入中国。川普的国安顾问莫里森表示,这不是美国在对友邦施压:「我们都知道EUV技术有多重要,荷兰政府可以自行决定这件事。」当然,最好是做出美国也认同的决定。

荷兰人陷入这样的困境,其实一点也不意外。美国不想和中国真的开战,因此试图用其他一切手段来控制中国的科技发展。芯片有如现代经济的石油,当你顺着这条价值链追溯时,很快就会来到荷兰的ASML。

在ASML看来,制定规则的人并不了解「这一切」是如何运作的。

「这一切」是指整个芯片产业,包括所有的全球依存关系、脆弱的供应链和复杂的技术。这是一个靠相互信任、长期协议、自由市场机制运转的世界。政府不能破坏这个脆弱的生态系统:最主要是因为ASML从中赚取丰厚的利润(包括在中国的收益),也在荷兰创造了许多就业机会。

ASML认为,美国主要是靠封锁EUV技术来辅助对中国的经济战。这项技术可用来大量生产先进半导体。这些芯片是用在手机上,不是战斗机。对ASML来说,担心EUV技术被用于军事完全是无稽之谈,武器产业使用的是已经上市多年的成熟微影技术。而且武器中使用的多数芯片都是「现成」的,跟笔记本电脑、洗衣机或汽车里的芯片一样,在世界各地都能轻易买到。

但美国的看法不同。美国对「军事」的定义远超出传统武器的范畴。他们担心中国的AI崛起、中国的超级电脑在全球排名中占主导地位,以及中国当局未来可能掌握的强大网络武器。而这些全都有一个共同需求:先进芯片。

荷兰经济部向来对企业采取不干预的态度,让企业能充分利用世界贸易的优势。身为一个新自由主义的贸易国,荷兰乘着全球化的浪潮前进了三十几年。ASML就体现了这种重商精神。

ASML长期以来一直试图避开地缘政治的舞台。但当你的机器是用来印制现代世界的基础架构时,你不可能永远躲在镁光灯外。

2020年1月,外交角力终于公开化。路透社报导,美国已要求荷兰封锁EUV技术的出口,ASML顿时成为众所瞩目的焦点。川普的贸易战、间谍案件,以及有关华为和5G的争议,全都交织在一起,掀起了一场舆论风暴,ASML登上了各大媒体的头版。

只要出口许可仍「在审查中」,中国就无法取得EUV曝光机。与此同时,美国持续施压。2020年10月,荷兰国防部的一份机密分析报告详细记载了他们收到「最重要战略夥伴的紧急呼吁」,警告:中国国防工业若取得EUV微影技术,就能为飞弹、无人机、网络战开发更有智能的演算法。

荷兰当局最终根据这项建议,否决了ASML的许可申请,但措辞上避免明确禁止对中国出口。结果依然不变:EUV曝光机不会运往中芯国际。

美国人很高兴,但仍持续盯着荷兰。美国总是握有「微量原则」这张王牌。这条规则就像一把随时可能落下的利剑,威胁着整个国际半导体产业。只要设备中含有一丝美国技术,商务部就能对整台设备要求申请许可。这个门槛通常是设在25%的美国技术含量:如果降到10%或更低,就会使ASML陷入困境。

美国想知道曝光机里的每个零件的最终目的地。为了迫使ASML就范,美国官员多次拒绝批准ASML向急需零件的芯片制造商供应备用零件。这个策略的背后有强大的美国国安会在运作,他们想借此取得详细的零组件清单。

荷兰外交官抗议这种暗中施压的手法。这已经近乎勒索,连国安会的成员也质疑这是不是对待盟邦的方式。但显然只要涉及中国,美方觉得这样做也无妨。ASML不情愿地编了一份清单,但也发挥创意、加入够多的模糊表述,让清单失去实际用途。后来一位负责追查此事的美国专家也承认,国安会的立场本来就站不住脚。

ASML被迫在中国市场踩煞车,美国企业却反而加足马力,趁势扩大自己在该市场的利益。中国芯片制造商仍然可以用传统的DUV曝光机,透过多重曝光技术来生产更先进的芯片。对于应用材料、科磊(KLA)、科林研发(Lam Research)这些美国公司来说,只要能保住营收,他们乐见ASML在中国市场失去优势。

EUV风波促使ASML加强与政府的关系,包括与荷兰各部会以及美国商务部培养更深入的合作关系,并在欧盟和华府设立代表处。ASML也在美国设立了自己的游说团队,不再完全依赖主要是为美国芯片公司发声的美国半导体业协会。

到了2023年底,ASML在美国的游说支出从几乎零增加到140万美元,在欧盟的年度游说费用也增加了六倍,达到30万欧元。尽管这些预算和其他的科技巨擘相比仍不算多,但有一点很清楚:对ASML来说,政治已不再是次要议题。

 
责任编辑:陈奭璁