科技1分钟：微机电系统（MEMS）
- 林廷宇
微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems；MEMS）结合半导体制程与精密机械设计，可将传感器、致动器及电子电路整合于单一芯片或微型元件中，兼具微型化、...
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