科技1分钟:纳米压印微影(NIL)技术2026年进展
- 何致中
综合公开数据显示,纳米压印微影(Nanoimprint Lithography;NIL)是一种突破传统光学极限的次时代纳米加工技术。不同于传统微影技术(Photolithography)利用光束...
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