科技1分钟：光阻剂（Photoresist）
- 何致中
半导体用光阻剂（Photoresist）是一种对光敏感的高分子材料，用于晶圆制程中微影制程（Lithography）的关键步骤，被誉为芯片制造的「画笔」。其主要功能是在晶圆表面形成一层可曝光、显影并移除的薄膜，透过光罩（Mask...
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