液化回收助数据中心减碳 资腾攻半导体聚焦先进制程
- 郭静蓉／台北
在先进制程迈向极紫外光微影机（High NA EUV）、ESG成为制造标配的关键时刻，佳世达集团罗昇旗下资腾科技整合全球技术与在地导入经验，于SEMICON Taiwan 2025展示四大先进制程与绿色创新应用亮点，包括VOCs液化回收系统、Fractili...
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