应材「钌钴」新组合 稳定台积电、三星2纳米制程良率
- 江承谕／综合报导
应用材料（Applied Materials）宣布将使用可提高先进制程效率的材料「钌」（Ru）新设备，支持晶圆代工业者2纳米量产，台积电、三星等从3纳米制程开始，已采用相关技术。据韩媒ZD Net Korea及Chosun Biz等报导，...
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