Aerotech于台北国际半导体展展出纳米级压电平台

Aerotech于台北国际半导体展展出一系列运动控制产品。

随着半导体产业对于特徵尺寸微缩化的需求持续增加，制程设备与相关的零组件，必须要具备纳米等级性能的需求，就持续成为设备商开发的方向。

在精密设备中，纳米微致动器，纳米微调整，以及纳米级精密度，是运动控制产业中难度最高，但也最有机会解决制程问题的一项课题。如何达到纳米等级精度，并且可以反覆持续维持此纳米等级精密度，同时维持纳米尺度的稳定性都会是需要达到的技术重点。

另一方面，先进封装制程的开发，对于半导体厂与封测厂均是开发的重点，尤其为了满足新一代电子产品的轻、薄设计要求，透过关键制程的高度整合，依靠纳米等级的位移控制的机台与机构设计，大幅提升制程设备业者的表现，美商艾罗德克有限公司在半导体展中，就会展出这类型的纳米定位、纳米微步进，以及纳米级精密度的运动控制平台，与压电平台等。

美商艾罗德克(Aerotech)，长期专心致力于运动控制(Motion Control)技术，以及多轴定位控制技术(Multi-Axis Positioning)的开发与应用，是世界知名的高精密制程所采用运动系统的重要供应商。

对于提供符合现今半导体、显示面板产业或生物科技制程设备所需要的严苛技术规格与产能需求，有长久的口碑，Aerotech本身的运动控制与多轴定位平台子系统可以达到纳米等级的动态定位精度、几何公差与强韧的热稳定性，并且广泛的应用于包括晶圆平台(Wafer Stage)设计、晶圆检查与侦测、CD-SEM、TEM、步进式微影、白光干涉、先进晶圆级封装等制程机台上。

专注于高精密度纳米等级位移与运动控制技术的开发

于2018年台北国际半导体展中，Aerotech针对数种关键制程所需要的运动控制技术进行一系列的展示，展出主题包含：超精密气浮轴承定位平台，压电纳米定位平台，以及12寸晶圆用之超精密 PlanarDL XY平台。

Aerotech的QNP系列压电定位平台拥有次纳米级分辨率，体积轻巧，最佳的刚性及谐震频率，在需要高效能及体积受限的应用，像是高端干涉仪，精密显微镜还有高精度定位，提供最佳的解决方案。

Aerotech于本届台北国际半导体展之摊位号码为#N869，欢迎对于提升制程良率或产能之制程开发者，设备开发者，与对Aerotech有兴趣的先进前往摊位参观。