自信「领先业界至少3年」 MetaOptics押宝150nm直写技术
- 舒能翊／桃园
在微纳米制造领域，关于纳米压印（NIL）与半导体微影的讨论从未停止。MetaOptics创始人程章金（Mark Thng）在与DIGITIMES访谈中充分说明「押宝」150nm直写技术的原因。程章金说明，若要追求200nm以下的极致精...
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