科技1分钟：半导体化学滤网
- 许经仪
半导体先进制程持续推进，气态分子污染物（Airborne Molecular Contamination；AMC）一直是制造过程中无法忽视的威胁，污染源一旦污染厂房甚至机台设备，不仅可能腐蚀设备、改变产品电性，严重更影响半导体良率。为有效控...
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