节能减碳与科技创新兼得 爱德华引领客户实践永续制造

爱德华先进科技 EUV Zenith系统在过去5年实现高达45.7%的能耗减少，实践绿色转型永续制造。爱德华

半导体先进制程的发展，实现了AI、5G、高效能运算，甚至让元宇宙(metaverse)的想像成为可能；而当先进制程不断演进以实现各种未来科技时，EUV曝光制程正扮演至关重要的角色，就像所有血液流过心脏，IC芯片的层层制造，也从曝光(lithography)开始，持续推进线宽线距的物理极限。

同时，随着EUV在先进制程的导入，其用电量与碳排受到极大关注与讨论，加上碳价也势不可挡地成为企业必须考量的成本时，如何在实现IC芯片创新时，同步实践永续制造，俨然成为半导体基业长青的重要关键。

爱德华先进科技(简：爱德华)以百年的真空技术引领发展，以泵浦驱动晶圆制造，同时提供废气处理设备，持续协助客户达成节能减排的目标，减少制程对环境的冲击。在EUV的领域，爱德华更扮演独一无二的角色，与EUV领导制程设备龙头厂商合作，投入超过20年的技术研发；提供全球晶圆大厂在此制程所需的节能与减排解决方案—EUV Zenith整合系统，EUV Zenith今年最新的绿色制造系列H2D，更利用稀释原理，透过再利用系统本身的热排，稀释EUV制程过程中产生的废氢，取代现行的燃烧作法，减少能源消耗，H2D方案每年每系统可为晶圆厂减少200吨的碳排；并在实践绿色制造的同时，更兼顾晶圆制造的生产营运绩效，维持高达99.8%的稼动率。

此外，爱德华下时代的EUV Zenith(Gen 3)系统搭配搭配的乾式泵浦，每年更可为每台EUV制程设备减少至少130吨的碳排。两者相加，即可省下约330吨的碳排；以爱德华在此领域以近百分之百的市场覆盖率，全球超过120台的安装量，每年共可减少近4万吨的碳排，相当于101座大安森林公园一年的碳吸收量。

爱德华先进科技总经理林伟表示：「持续投资未来，从科技、环境、人才等面向，为客户、关键合作夥伴和整个社会增加长期且永续的价值，是我们的承诺。」爱德华除了以各种智能化节能减排系统协助客户达成绿色转型的同时，更从自身做起，以永续为核心价值，持续提升，如EUV Zenith系统在过去5年即实现高达45.7%的能耗减少；我们更将再生能源导入营运、运输优化并跨及到相关供应链，邀请上下游合作夥伴加速减碳移动，化挑战为助力，一同实践绿色转型以致永续制造。