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TEL熊本新研发大楼启用 聚焦1纳米芯片技术创新

  • 江仁杰综合报导

东京威力科创(Tokyo Electron;TEL)于2025年10月15日在日本九州熊本县合志市,完成新建的半导体制造设备开发大楼竣工典礼。新研发大楼是为强化TEL在前段制程中,涂布显影装置等核心设备的研发能力,推动AI芯片相关技术,并实现超越现有最先进...

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