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应材推3款「埃」级设备深耕2纳米制程 助GAA突破原子级缺陷瓶颈
江承谕
/
首尔
2026/02/13
更新时间:2026/02/13 14:25
更新时间:2026/02/13 14:25
随着AI运算带动半导体产业2纳米以下先进制程竞争,每一个原子级的缺陷都可能成为功耗与良率的瓶颈。
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