传中国EUV突破美国锁喉 上海光源成功建置研究用EUV设备
- 范维君／综合报导
中国正在加快极紫外光（EUV）设备的自主研发步伐，传于上海开发出可实现15纳米级图案的研究用EUV设备，未来有望推动先进半导体制造中，关键的微影制程研发速度。韩媒EBN引述半导体业界消息，称中国已在位于上海的上海同步辐射光源（S...
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