三星泰勒厂设备订单现端倪 传将导入韩国国产EUV光罩护膜
- 陈玟静／综合报导
三星电子（Samsung Electronics）传将在美国德州泰勒厂导入极紫外光（EUV）光罩护膜（Pellicle），并为此已与韩国设备供应商FST签订相关设备合约。据韩媒ET News引述业界消息，三星已为泰勒厂下订EUV光罩护...
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