中国本土设备再下一城 盛美首款KrF前段涂布显影机台出货
- 谢昇辉／台北
在全球半导体产业格局加速重塑的背景下，中国本土设备厂商正积极推动技术突破与产业化进程。盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称「盛美」）宣布，推出首款KrF制程前段涂布显影机台——Ultra Lith KrF，代表公司在成熟制程前段曝...
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