三星High NA EUV测试传捷报 特定制程时间可缩减60%
- 范维君／综合报导
传三星电子（Samsung Electronics）透过高数值孔径（High NA）极紫外光（EUV）微影设备，可将特定制程时间缩短60%，这项结果代表三星有望提升半导体生产效率，预期将High NA EUV用于2纳米以下制程。韩媒M...
会员登入
会员服务申请/试用
申请专线：
+886-02-87125398。
(周一至周五工作日9:00~18:00)
+886-02-87125398。
(周一至周五工作日9:00~18:00)
关键字
