科林研发推协作机器人 精确维护晶圆厂设备
- 蔡静珊／综合报导
美国蚀刻、沉积与清洗设备大厂科林研发（Lam Research）近期推出Dextro协作型机器人，协助提升晶圆厂设备维护工作的执行精确度以及效率。目前这款机器人搭配蚀刻设备使用，已部署至全球各地多座先进晶圆厂当中，未来有望将应用范围扩张到更多种类的设备。
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