SFA在OHT加入AI技术 提高生产效率10%
- 林瑜淳／综合外电
韩国SFA在运送晶圆的空中无人搬运车(Overhead Hoist Transfer；OHT)加入人工智能(AI)与机器学习(machine learning)技术，成功提高晶圆厂的生产效率，将正式在OHT市场与日本业者竞争。据韩媒ET N...
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