1纳米以下Nanostack量产难度增 IBM：High NA EUV成关键
- 陈玉娟／台北
IBM率先发表全球首个1纳米以下Nanostack技术，但从研究走矢量产，仍涉及材料、微影、热管理与量子效应等多重挑战。IBM指出，新材料导入一直是半导体产业最困难的问题...
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