科技1分钟：美国新创xLight聚焦微影雷射光源
- 许经仪
美国新创公司xLight成立于2021年，主要聚焦半导体先进微影雷射光源，核心研究为自由电子雷射（Free-Electron Laser；FEL），目标取代曝光机内建的极紫外光（EUV...
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