科技1分钟:EUV灵魂之光──蔡司(Zeiss) 智能应用 影音
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科技1分钟:EUV灵魂之光──蔡司(Zeiss)

  • 陈至娴

谈到制造先进芯片的极紫外光(EUV)微影设备,多数人首先想到的是荷兰业者ASML;但真正决定光线能否精准刻划纳米世界、支撑EUV走矢量产的关键,却是德国光学大厂...

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