科技1分钟：雷射光造出纳米级画笔──电子束微影（EBL）

随着半导体制程不断推进，要如何在晶圆上画出如此微小的电路图形？除了深紫外光（DUV）、极紫外光（EUV）光学微影之外，还有一项被学界誉为「纳米级画笔」的关键技...

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