台积携Ibiden、群创猛攻CoPoS 传出玻璃基板领域踩油门
因应AI芯片需求强劲,台积电除了加速扩大先进封装CoWoS产能外,近日首度揭露「玻璃基板」技术应用进展,更透露次时代先进封装竞争,逐步由CoWoS移往CoPoS(Chip-on-Panel-on-Substrate)战场,提前建立完整生态系。
设备端传出,近期台积电向供应链释出「Glass Substrate Development for CoWoS」(CoWoS玻璃基板开发)计划,确定携手ABF载板大厂揖斐电(Ibiden)与面板厂群创,共同验证玻璃基板导入下一代CoWoS先进封装的可行性,希望解决未来大型AI芯片封装在翘曲、热管理、信号传输及供电等方面的挑战。
同时,这也显见来自客户对技术规格、产能要求,以及英特尔(Intel)、三星电子(Samsung Electronics)等竞争压力迅速增强,迫使研发推进「谨慎不激进」的台积,终于踩油门加快导入。
玻璃基板因具备低翘曲、低热膨胀、高刚性及优异信号与供电特性,被视为「后CoWoS时代」的重要技术。供应链人士指出,透过台积、Ibiden与群创三方合作及模拟验证,玻璃基板可使封装翘曲相关指标COP(Chip on Package)改善16%、有效热膨胀系数(Effective CTE)降低19%、有效弹性模数(Effective Modulus)提升31%。
供电完整性(Power Integrity)方面,电阻值降低27%、电感值降低42%。整体而言,玻璃基板导入后可使封装性能(PKG Improvement)获得显着提升。
台积强调,未来仍需持续研究与验证玻璃厚度(Glass Thickness)以及大型CoWoS封装布局(Large-size CoWoS Layout)。尽管距全面量产仍有一段距离,但这已是台积首次公开揭露与ibiden、群创共同验证玻璃基板成果,也意味着玻璃基板正式跨入产业化验证阶段。
业者进一步指出,COP改善16%,代表封装翘曲程度获得有效控制。随着AI GPU尺寸愈来愈大,包括NVIDIA GB200、GB300以及正进入量产的Rubin平台封装尺寸持续扩张,封装平整度与翘曲控制的重要性也大幅提高。玻璃基板在降低翘曲方面的表现,将有助于提升大型封装的良率与可靠度。
此外,SBT有效热膨胀系数降低19%,则显示玻璃材料与矽芯片之间的匹配度更高。
目前矽芯片热膨胀系数与传统有机基板差异较大,容易在温度变化时产生应力并影响封装可靠度。相较之下,玻璃材料热膨胀系数更接近矽芯片特性,有助于降低热应力、减少裂纹与焊点疲劳问题;玻璃基板有效弹性模数提升31%,代表整体刚性更高,可提供更佳支撑能力。其中随着HBM的堆叠层数不断增加,基板刚性将成为支撑大型封装的重要条件。
台积此次测试样品采用0.8mm Glass Core Substrate,封装规格5x Reticle CoW,整体封装尺寸为85x110mm,为大型AI GPU封装等级。台积特别强调「No SeWaRe & Delamination」,代表测试过程中未出现严重翘曲与分层/剥离现象等良率杀手。
对于玻璃基板而言,材料接合可靠度向来是重要挑战之一,能够在大型封装尺寸下维持稳定结构,显示技术成熟度已有相当进展。
计划另一重点,则是Glass-SBT与Organic-SBT的比较。台积指出,Glass-SBT可做到「Thin but better COP」,而Organic-SBT则呈现「Thick but worse COP」,玻璃基板不仅能够维持较薄厚度,还能同时改善封装平整度与可靠度。
此次合作夥伴名单也透露未来供应链布局方向。
Ibiden目前为NVIDIA与超微(AMD)AI芯片重要载板供应链,被视为玻璃基板量产化过程中要角,先前已宣布投资5,000亿日圆扩建岐阜县大野新工厂,专攻AI服务器高端封装基板,显见其对AI先进封装市场的强大企图心,群创入列合作名单,也被视为抢进下一代玻璃基板战场的重要进展。
业者表示,玻璃基板最大挑战并非玻璃本身,而是玻璃通孔(Through Glass Via;TGV)技术。玻璃本质上是绝缘体,必须透过数万个TGV建立垂直导电通孔,才能实现信号与电力传输。
玻璃同时具有高硬度与高脆性,加工过程容易形成微裂纹,进而影响可靠度与良率。因此,通孔成形、填铜品质与长期热可靠度,被视为玻璃基板量产化的三大核心关卡。
另一方面, 英特尔10多年前已投入玻璃基板研发,应是全球布局最早、投入最深的业者。目前位于美国亚利桑那州的玻璃基板试产线逐步进入商业化,英特尔力图藉由玻璃基板与超大型小芯片(Chiplet)封装,争取AI GPU与特用芯片(ASIC)客户订单。
三星电机(Semco)于2025年建置玻璃基板试产线,并和日本大厂住友化学集团成立合资事业,将提前建构玻璃基板供应链。
责任编辑:何致中







