科技1分钟：原子层沉积（ALD）制程

半导体制造中，原子层沉积（Atomic Layer Deposition；ALD）为一种精密的薄膜沉积技术，为实现微缩与三维技术的重要基础。若将芯片制造比喻为建造一栋房子，薄膜沉...

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SEMI 应材薄膜半导体产业