资腾SEMICON China锁定埃时代需求 展出刷轮助先进制程良率
- 郭静蓉／台北
佳世达集团旗下资腾科技参加2026年SEMICON China国际半导体展，将展示化学机械研磨（Chemical Mechanical Polishing；CMP）超洁净空气PVA刷轮。资腾指出，因应埃（Angstrom）时代对晶圆洁净...
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