上海微电子夺下曝光机标案 ASML优势仍难撼动
- 黄琼文／综合报导
近期一则中国政府采购网公示揭露上海微电子设备（SMEE）中标一台步进式扫描曝光机，成交金额约人民币1.09亿元，招标方则是中国科技部，引发市场对中国曝光设备自主化进程的高度关注。显示中国正在成熟与特色制程设备上持续「补位」。目前全球曝...
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