High-NA EUV太昂贵 英特尔CFO：14A制造成本高于18A
- 李佳翰／综合报导
美国芯片大厂英特尔（Intel）财务长David Zinsner日前坦言，次时代14A制程生产成本将高于18A制程节点。理由在于14A将首次全面导入ASML的高数值孔径极紫外光曝光设备（High-NA EUV）Twinscan EXE:5200B。
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